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參數(shù)			描述	單位
窗材			MgF2	－
光譜分布			115 至 400	nm
預(yù)熱時(shí)間			25 ±5	s
光輸出穩(wěn)定性	波動(dòng) (p-p)	*大值	0.05	%
光輸出穩(wěn)定性	偏差	*大值	±0.3	%/h
保證光源壽命 (*1)			2000	h
替換光源			L12565	－
真空法蘭			－ (*2)	－
密封方法			O 型圈	－
泄漏量			1 x 10-10 Pa m3/s (*3)	－
輸入電壓（交流）			100 V 至 240 V，單相 50 Hz / 60 Hz	－
功耗		*大值	90	VA
光源單元冷卻方法			以風(fēng)扇強(qiáng)制風(fēng)冷	－
工作溫度范圍			+10 至 +40	℃
儲(chǔ)存溫度范圍			0 至 +60	℃
工作濕度范圍			低于 80%（無(wú)冷凝）	－
儲(chǔ)存濕度范圍			低于 85%（無(wú)冷凝）	－
外部控制			照射控制、照射信號(hào)、各種報(bào)錯(cuò)信號(hào)	－

*1：壽命終止定義為 230 nm 的光輸出低于其初始值的 50%，或光輸出波動(dòng)超過(guò)*大規(guī)格值。
請(qǐng)注意，光輸出衰減在很大程度上取決于真空設(shè)備的狀況。

*2：L12542 可以與下列相關(guān)產(chǎn)品的真空法蘭一起使用。
有關(guān)如何將真空靜電消除器安裝到真空設(shè)備上的信息，請(qǐng)聯(lián)系我們。

*3：使用氦氣泄漏探測(cè)器測(cè)量的結(jié)果。

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