世界上功能*全的非接觸式 3D 表面精密檢測儀，適用于大口徑的精加工光學(xué)工件的檢測，LUPHOScan 600/850 HD被設(shè)計(jì)用于對非球面透鏡、球面、平面和輕微自由曲面等旋轉(zhuǎn)對稱表面（光學(xué)器件）進(jìn)行超高精密非接觸式三維表面形狀測量。該輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)包括測量速度快，對一些特殊的表面形狀(如平頂或帶有拐點(diǎn)的輪廓)具有高度靈活性。是一款真正適用于各種類型光學(xué)表面的非接觸式計(jì)量設(shè)備。

LUPHOScan 600/850 HD 大型光學(xué)工件精密非接觸式輪廓檢測儀是基于世界有名的 LUPHOScan HD 的測量原理開發(fā)的，為超大型復(fù)雜光學(xué)原件提供穩(wěn)定的非接觸計(jì)量解決方案。我們的計(jì)量儀器專家在聽取眾多光學(xué)加工合作者對測量的需求和建議的基礎(chǔ)上，深刻理解設(shè)計(jì)一種能為大型光學(xué)工件提供高精度、穩(wěn)定可靠的測量數(shù)據(jù)的輪廓檢測儀的重要性后，成功開發(fā)出滿足客戶需求的儀器。

顛覆性的測量能力：

 

? 高精度：

    高精度和高重復(fù)性的面形誤差測量

    精度可達(dá)<λ/20 （PV99i），RMS*小可達(dá)5 nm*


? 測量范圍大，靈活性極高：
    測量口徑范圍可從5mm 到850mm，測量高度可達(dá)210mm

 

? 高密度測量點(diǎn)：
    測量點(diǎn)數(shù)高達(dá)600萬，以用于**分析大口徑光學(xué)元件的中頻面形誤差

 

? 自由曲面測量
    對回轉(zhuǎn)非對稱面可測量整個圓周的*大斜度變化到±8（徑向斜度到90°）

 

? 幾乎能測量所有的材料
    透明、鏡面、不透明、拋光或磨光面

大理石框架結(jié)構(gòu)
    采用材質(zhì)分布均勻的大理石框架結(jié)構(gòu)，可以很好地消除熱膨脹所引起的誤差，

    外加優(yōu)化設(shè)計(jì)將振動造成的測量誤差減到*小。

 

? 環(huán)境變化實(shí)時誤差補(bǔ)償
    四個溫度變化測量傳感器和一個氣壓變化傳感器

 

? 低系統(tǒng)噪聲確保了高測量精度
    采用TMC設(shè)計(jì)的主動抗振平臺，以獲得*佳的隔振效果


? 自動調(diào)心調(diào)平
    全自動測量，獲得穩(wěn)定而**的測量結(jié)果

為了證明 LUPHOScan HD 的準(zhǔn)確性和再現(xiàn)性，在無負(fù)載和有150kg負(fù)載的情況下，分別對 Φ 600 mm 的參考平晶面在兩個不同的轉(zhuǎn)動方位上進(jìn)行測量。


測試數(shù)據(jù)顯示了當(dāng)大平晶旋轉(zhuǎn)到不同方位時面形誤差PV99i值仍然很穩(wěn)定。


Φ 600 mm的光學(xué)參考平晶：
  ? 0°（無負(fù)載）- 303 nm, 57 nm RMS
  ? 120°（無負(fù)載）-335 nm, 58 nm RMS
  ? 0° (150 kg ft 4k) - 294 nm, 60 nm RMS
  ? 120°（150kg 負(fù)載）-350 nm, 69 nm RMS

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